臭氧分析仪采用原电池微库仑原理制造。仪器具有灵敏度高、测量快速、稳定等特点。臭氧分析仪共分为高浓度臭氧分析仪( 0～100mg/m3 )及低浓度臭氧分析仪( 0～4mg/m3 )二种规格。低浓度臭氧分析仪适用于对环境大气浓度的监测及臭氧发生源，高浓度臭氧分析仪适用于臭氧发生器制造企业检测产品的臭氧发生浓度，各卫生防疫部门对臭氧杀菌消毒产品的检测。

臭氧分析仪在检测中应注意的事项：

1.采样管材料应选用抗强氧化的材料,如玻璃、聚四氟乙烯、聚偏二氟乙烯;不锈钢材料也尽量少用,以减少采样管中臭氧损耗。

2.采样管应尽量短,测量低浓度时一般不要超过2m。

3.从采样管到检测仪器,不要漏气,否则测量值偏低。

4.检测较低浓度(如检测环境)臭氧时,新的聚四氟乙烯管也要充分的进行“臭氧化”,即通过含较高浓度臭氧的气体来稳定采样管内壁.日本荏原公司认为要20min以上才能稳定,而美国莫尼特公司要求数小时。

5.采样管要定时清洗、吹干.不清洁的采样管会使测量值偏低很多。

6.臭氧分析仪要定时进行标定,以保证测量数据可靠。