工作原理是X射线光管发出的初级X射线照射样品，样品中原子的内层电子被激发，当外层电子跃迁时产生特征X射线，通过分析样品中不同元素产生的特征荧光X射线波长（或能量）和强度，可以获得样品中的元素组成与含量信息，达到定性定量分析的目的。

X射线是一种波长较短的电磁辐射，通常是指能量范围的光子。X射线与物质的相互作用主要有荧光、吸收和散射三种。

XRF6能量射线荧光光谱仪的主要特点：

1、配置新型滤光片，提高Pb、Cd等的灵敏度提高2倍。

2、配置高计数率电路，增加检测器的计数量。

3、增加时间缩短功能，由荧光X射线强度算出测定精度，自动判断所需最少测定时间。

4、增加自动工作曲线选择功能，依据识别样品种类的不同而选择最适宜的工作曲线。

XRF6能量射线荧光光谱仪高度自动化的分析，省力省时

适合原材料、新材料、产品的研究及管理等分析，可对多种样品进行从微量到高含量的分析仅需约1分钟即可完成1个样品中36种元素的定量分析，由于仪器整机的高稳定性充分保证了全自动无人管理分析，可以节省人力与运行费用。配制单道扫描型分光器，可以进行自动定性分析的元素判别，广泛应用于研究分析。

生产流程的管理分析

可快速获得分析结果，经数据处理后，可进行质量检验、规格判断等，应用于生产管理分析（特别是炉前分析）。