光学轮廓仪利用干涉原理测量,效率更高(光的等厚干涉提高测量精度)

admin 37 2022-06-23 23:14:00

光学轮廓仪是一种双LED光源的非接触式光学仪器,对样品基本上没有损害,视样品选择不同测量模式,相移干涉模式(PSI)主要用于测量光滑表面粗糙度,垂直扫描干涉模式(VSI)则可以做高度、宽度、曲率半径,粗糙度的计测等。

光学轮廓仪的工作区域功能开放,界面条理清晰,使测量设置和转换简单&快速。系统可以配备多种样品平台,从手动型到全自动型,150毫米XY平移和4度俯仰倾斜。可选集成式的抗震平台,紧凑的尺寸,使它非常适合于台式安装,结合可选的工作台使其成为理想的生产型测试系统。

工作原理:

利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。两束相干光间光程差的任何变化会非常灵敏地导致干涉条纹的移动,而某一束相干光的光程变化是由它通过的几何路程或介质折射率的变化引起,以通过干涉条纹的移动变化可测量几何长度或折射率的微小改变量,从而测得与此有关的其他物理量。测量精度决定于测量光程差的精度,干涉条纹每移动一个条纹间距,光程差就改变一个波长(~10-7米),以干涉仪是以光波波长为单位测量光程差的,其测量精度之高是任何其他测量方法无法比拟的。

光学轮廓仪不仅用于零件的检测,而且是一种在生产中用于检测轧制产品表面缺陷的设备。基于激光检测原理,完成了缺陷尺寸的在线检测。一台轮廓测量仪配有四个二维激光测量传感器。每个二维激光传感器负责检测一个方向的轮廓。四个传感器完全可以满足同一断面的轧件轮廓检测。这样,随着被测轧件的进展,轮廓仪可以检测出一个又一个截面的轮廓尺寸,并通过软件系统模拟出轧件的表面形状。

光学轮廓仪通过对被测物进行缺陷检测,实现了被测物件的在线连续式缺陷检测,及时的防止带缺陷的轧材进入下一生产环节,提高了被测物的成品率和检测效率。

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